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产品展示
RK GGC-D10坩埚传动装置
  • 用途及特点
  • 规格参数
    产品特点
     
    ●'RK GGC-D10型坩埚传动装置为外置式传动系统;
    ●整个装置分为坩埚水冷部分和传动部分(如图);两部分结构模块化构成两个整体,对安装、拆卸、维护、修理特别方便简捷。
    ●可承载实际情况下的任意穴位的坩埚;
    ●满足传动轴动密封和磁流体密封互换,任意选用;
    ●坩埚可从真空室体上方取出,方便清洁维护;
    ●强大扭矩有效防止步进电机丢步情况发生。
    技术指标
     
    ●安装条件:竖直安装;真空室底板开孔为φ40mm~φ60mm;
    ●采用减速电机传动:减速器减速比为1:32,电机为步进电机;
    ●传动方式:中心主轴传动;
    ●冷却水速率:10L/分~20L/分(水温需在15℃~25℃);
    ●转动扭矩:74Nm。

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